CNC 自动影像量测系统Nikon VMZ - R Series(R3020、R4540、R6555)

Nikon最新开发的高精度、高速量测及高NA的CNC影像量测仪VMZ-R Series，不只在精度上再升级，在Ｚ轴的量测高度上也做了提升，让产品的量测拥有更高的多元性。除原有影像对焦及雷射对焦、扫描等功能，新的雷射感应器也可量测膜的表面及底部，进而测量膜厚。表面光、底部光及环型光皆采用 LED 的设计，光源更稳定且寿命更长。环型光源有