白光干涉儀

SWIM系列掃描白光干涉顯微檢測儀採用專利相移垂直掃描與顯微干涉技術，無需繁瑣光路調整，即可在一般大氣環境中實現非接觸、無損的3D奈米級表面量測，精確分析鏡面粗糙度、階差與形貌，並符合ISO國際標準。