三次元探針
三次元探針是一種接觸式量測元件，可整合至影像量測儀或三次元量測儀中，進行 X、Y、Z 三軸方向的高精度尺寸量測。其特點在於能夠量測光學無法取得的內部結構、孔位深度或側邊輪廓，尤其適用於高落差、複雜幾何形狀或反光材質的工件。
三次元探針 複合量測系統
領先國際的精密量測技術，實現高效與高精度的完美結合
本系統全系列標配 0.5µm 高解析光學尺，大幅提升定位精度與影像取點準確性，實現穩定且一致的量測結果。搭載強大的複合量測功能，同時支援 2D 影像量測與3D 接觸式探針操作，一機多用，滿足多元工件檢測需求。 此外，支援高倍率物鏡系統，可進行微小零件的顯微影像分析，結合高精度光學尺，提供前所未有的微細結構量測能力。
核心優勢：
- 全面導入 0.5µm 光學尺，定位與取像更精準
- 同步支援 2D 與 3D 量測，一機整合多功能
- 適用於複雜形狀與多層結構的工件
- 高倍率光學顯微系統，適合微米級零件檢測
- 模組化設計，彈性整合探針、鏡頭與量測模組
