CNC 自動影像量測系統Nikon VMZ - R Series(R3020、R4540、R6555)

Nikon最新開發的高精度、高速量測及高NA的CNC影像量測儀VMZ-R Series，不只在精度上再升級，在Ｚ軸的量測高度上也做了提升，讓產品的量測擁有更高的多元性。除原有影像對焦及雷射對焦、掃描等功能，新的雷射感應器也可量測膜的表面及底部，進而測量膜厚。表面光、底部光及環型光皆採用 LED 的設計，光源更穩定且壽命更長。環型光源有